高平整度、高平滑面、低損傷層、加工工藝集中的超精密平面磨床 用途 300mmウェーハの超精密平面研削 材料 硅晶片 主要特征 追求剛性，橫向配置2個加工頭，節省空間 通過採用追求剛性的臥式凹槽，實現硅片表面的高平坦度和低磨損磨削，降低後工序的負荷，提高總生產率 高剛性空氣靜壓主軸用於砂輪主軸和工件主軸。 加工事例 返回到產品信息列表
