Ultraprecisions ytslip som uppnår hög planhet, hög slät yta, låg skada skikt och integrerad bearbetningsprocess
| Användande | 300mmウェーハの超精密平面研削 |
|---|---|
| material | silikonwafer |
Viktiga funktioner
- I strävan efter styvhet är två horisontella bearbetningshuvuden anordnade på ett platsbesparande sätt.
- Genom att anta ett horisontellt spår som strävar efter styvhet, uppnår den hög planhet och låg skadas slipning av kiselskivans yta, minskar belastningen i efterprocessen och förbättrar den totala produktiviteten.
- Högstyvhet luftstatiska tryckspindlar används för slipskiva och arbetsstyckesspindlar.