Retificadora de superfície de ultraprecisão que atinge alta planicidade, alta superfície lisa, camada de baixo dano e processo de usinagem integrado
| Uso | 300mmウェーハの超精密平面研削 |
|---|---|
| material | bolacha de silicone |
Principais características
- Em busca de rigidez, duas cabeças de processamento horizontais são dispostas de maneira que economiza espaço.
- Adotando uma ranhura horizontal que busca a rigidez, alcançamos alta planicidade e moagem de baixo dano na superfície do wafer de silício, reduzindo a carga no pós-processo e melhorando a produtividade total.
- Fusos de pressão estática de ar de alta rigidez são usados para fusos de roda de moagem e fusos de peças de trabalho.