Smerigliatrice per superfici ultraprecisa che raggiunge un'elevata planarità, un'elevata superficie liscia, uno strato a basso danno e un processo di lavorazione integrato
| Utilizzo | 300mmウェーハの超精密平面研削 |
|---|---|
| Materiale | fetta di silicio |
Caratteristiche principali
- Alla ricerca della rigidità, due teste di lavorazione orizzontali sono disposte in modo salvaspazio.
- Adottando una scanalatura orizzontale che persegue la rigidità, raggiunge un'elevata planarità e una rettifica a basso danno della superficie del wafer di silicio, riduce il carico nel post-processo e migliora la produttività totale.
- I mandrini pneumostatici ad alta rigidità vengono utilizzati per mandrini macinazione ruota e mandrini portapezzo.