Rectifieuse de surface ultra-précise qui permet d'obtenir une planéité élevée, une surface très lisse, une couche à faible dommage et un processus d'usinage intégré
| Usage | 300mmウェーハの超精密平面研削 |
|---|---|
| Matériel | plaquette de silicium |
Principales caractéristiques
- Dans un souci de rigidité, deux têtes de traitement horizontales sont disposées de manière peu encombrante.
- En adoptant une rainure horizontale qui recherche la rigidité, il permet d'obtenir une planéité élevée et un meulage à faible dommage de la surface de la plaquette de silicium, réduit la charge dans le post-traitement et améliore la productivité totale.
- Les broches de pression statique à air à haute rigidité sont utilisées pour les broches de roue de broyage et les broches de pièce.