Rectificadora de superficie de ultraprecisión que logra una alta planitud, una superficie muy lisa, una capa de bajo daño y un proceso de mecanizado integrado
Uso
300mmウェーハの超精密平面研削
material
oblea de silicio
Características principales
En busca de la rigidez, dos cabezales de procesamiento horizontales están dispuestos de manera que ahorran espacio.
Al adoptar una ranura horizontal que persigue la rigidez, logra una alta planitud y un esmerilado de bajo daño de la superficie de la oblea de silicio, reduce la carga en el proceso posterior y mejora la productividad total.
Los husillos de presión estática de aire de alta rigidez se utilizan para husillos de muela abrasiva y husillos de piezas de trabajo.