Ultrapräzisions-Flächenschleifmaschine, die eine hohe Ebenheit, eine sehr glatte Oberfläche, eine Schicht mit geringer Beschädigung und einen integrierten Bearbeitungsprozess erreicht
| Verwendungszweck | 300mmウェーハの超精密平面研削 |
|---|---|
| Material | Siliziumwafer |
Hauptmerkmale
- Im Streben nach Steifigkeit sind zwei horizontale Bearbeitungsköpfe platzsparend angeordnet.
- Durch die Verwendung einer horizontalen Nut, die Steifigkeit anstrebt, wird eine hohe Ebenheit und ein schadensarmes Schleifen der Siliziumwaferoberfläche erreicht, die Belastung im Nachbearbeitungsprozess reduziert und die Gesamtproduktivität verbessert.
- Luftdruckspindeln mit hoher Steifigkeit werden für Schleifrad und Werkstückspindeln verwendet.